CVD Silicon Carbide (SiC) coating

Ny sosona CVD SiC dia sosona silikônina karbida napetraka eo amin'ny grafita, ary ampiasaina betsaka amin'ny fitaovana epitaksia izay zava-dehibe ny mari-pana sy ny fahadiovana. Amin'ny tsipika famokarana tena izy, matetika ianao no mahita izany amin'ny rafitra avy amin'ny AIXTRON, ASM/LPE, Veeco, ary koa amin'ny sehatra sasany mifandraika amin'ny AMAT. Ny mahatonga azy io ho ilaina dia tsy ny fanoherana ny mari-pana fotsiny, fa ny fahamarinan-toerana ankapobeny mandritra ny fotoana maharitra. Amin'ny toe-javatra epitaksia mahazatra - hidrôzenina, amoniaka, na entona misy klôro aza - dia mijanona ho marin-toerana ny sosona ary miaro ny grafita eo ambaniny. Izany dia manampy amin'ny fitazonana ny sehatry ny hafanana ho mitovy kokoa ary mampihena ny mety hisehoan'ny poti-javatra mandritra ny fitomboana.

Matetika, ny sosona dia ampiharina amin'ny faritra toy ny susceptors, wafer carriers, graphite rings, na half-moon components. Ireo rehetra ireo dia tafiditra mivantana amin'ny fanafanana na fametrahana ny wafer, ka ny tsy fandriam-pahalemana kely dia mety hisy fiantraikany amin'ny vokatra. Noho izany antony izany, ny faritra voarakotra dia matetika heverina ho toy ny zavatra azo ampiasaina izay mbola mila azo ianteherana mandritra ny tsingerina maromaro, indrindra amin'ny famokarana 4 ka hatramin'ny 12 inch.