SiC Ceramics

Ampiasaina bebe kokoa amin'ny fitaovana semiconductor ny seramika SiC, indrindra satria maharitra kokoa amin'ny toe-javatra sarotra kokoa izy ireo. Rehefa miakatra ny mari-pana na mihamafy kokoa ny dingana, dia mety hanomboka hampiseho fetrany ny fitaovana toy ny quartz na silikônina, ary matetika eo no idiran'ny SiC. Amin'ny dingana lafaoro toy ny oksidasiona na diffusion, ny ampahany toy ny sambo wafer na ny paddle vita amin'ny SiC dia maharitra kokoa. Mitazona ny endriny izy ireo ary tsy mitondra loto firy, na dia aorian'ny fampiasana maharitra aza. Matetika ny olona dia mifindra amin'ny quartz noho izany antony izany, indrindra rehefa matetika loatra ny fikojakojana.

Ho an'ny fandokoana, matetika ny SiC no fidiana satria maharitra kokoa amin'ny plasma izy io. Ny fahasamihafan'ny androm-piainany raha oharina amin'ny ampahany silikônina dia hita amin'ny fametrahana maro, na dia mbola miankina amin'ny dingana marina aza izany. Manampy kely amin'ny fanaraha-maso ny poti-javatra ihany koa izany, izay lasa mora tohina kokoa rehefa mihena ny nodes. Ho hitanao ihany koa ny SiC ampiasaina ho susceptors amin'ny MOCVD na CVD. Amin'ireny tranga ireny, dia tsy dia momba ny "tanjaka" loatra fa momba ny fitazonana ny fitondran-tenan'ny mari-pana ho marin-toerana. Ankoatra izany, dia miseho amin'ny ampahany amin'ny efitrano toy ny liners na showerheads, ary indraindray amin'ny fikirakirana singa ihany koa.