Takelaka fizarana entona 0020-31624

Ao amin'ny famokarana semiconductor mandroso, ny fitoviana amin'ny dingana sy ny fahamarinan'ny plasma dia miankina betsaka amin'ny fahamarinan'ny fanaterana entona ao anatin'ny efitrano fanodinana. Ny Gas Distribution Plate (GDP), fantatra ihany koa amin'ny hoe showerhead plate, dia iray amin'ireo singa tena ilaina indrindra amin'ny fahazoana fampisehoana maharitra amin'ny fametrahana sy ny fanesorana amin'ny fitaovana semiconductor miorina amin'ny plasma. Ny Semixlab dia manome singa semiconductor fanoloana avo lenta sy singa fizarana entona namboarina manokana natao ho an'ny tontolo fanamboarana wafer sarotra.

Product Overview

Ny Takelaka Fizarana Gaz AMAT 0020-31624 dia singa fizarana fikorianan'ny entona namboarina araka ny fepetra takiana mazava tsara izay ampiasaina betsaka amin'ny rafitra fanodinana semiconductor Applied Materials (AMAT).

Natao ho an'ny tontolo plasma mitovy lenta, ity singa ity dia ahafahana mandefa entona fanodinana amin'ny fomba marina sy maharitra manerana ny velaran'ny wafer, manampy amin'ny fitazonana ny tsy fiovaovan'ny fizotran'ny fanodinana, ny fitoviana amin'ny sarimihetsika ary ny fahamarinan'ny plasma.

Key Features:

● Rafitra fizarana entona avo lenta

● Fanoherana harafesina tsara dia tsara amin'ny plasma

● Famokarana poti-javatra kely

● Endrika dinamikan'ny fikorianan'ny rano nohatsaraina

● Fahamarinan-toerana mafana avo lenta amin'ny fepetra fanodinana plasma

● Azo ampiasaina amin'ny fametrahana sy fanesorana ireo singa simika amin'ny alalan'ny "semiconductor"

Andraikitra mahazatra ao amin'ny Rafitra AMAT

Ao amin'ny rafitra fanodinana plasma AMAT, ny Takelaka Fizarana Gaz dia mazàna apetraka eo amin'ny faritra ambony amin'ny efitrano fanodinana, eo ambonin'ny faritra fanodinana wafer.

Ny asany voalohany dia ny mizara mitovy tsara ny entona fanodinana ao amin'ny faritra fiasan'ny plasma sady mitazona ny fikorianan'ny entona sy ny hakitroky ny plasma manerana ny velaran'ny wafer.

Ireo Asa Fototra dia ahitana:

1. Fizarana Gazy Mitovy Fomba Fiasa

Mizara tsara ireo entona toy ny: ny harin-karena faobe (GDP)

SiH₄, NH₃, CF₄, O₂, NF₃, Ar

2. Fanaraha-maso ny fitoviana amin'ny plasma

Ny endrika sy ny lamina amin'ny lavaka amin'ny takelaka fizarana entona dia misy fiantraikany mivantana amin'ny:

● fizarana hakitroky ny plasma

● fitoviana iôna

● tsy fiovaovan'ny fihetsika

3. Fanatsarana ny sehatry ny fikorianan'ny rano

Manampy amin'ny fanatsarana ny rafitra ara-toekarena mandroso ny rafitra ara-toekarena mandroso:

● fotoana fijanonan'ny entona

● fahombiazan'ny fampifangaroana ny precursor

● dinamikan'ny fikorianan'ny efitrano

Inona no mitranga rehefa tsy mahomby ny GDP?

Satria ny Takelaka Fizarana Gaz dia mifehy mivantana ny fihetsiky ny fikorianan'ny entona ao amin'ny efi-trano, ny fahasimbana na ny fahalotoan'ny singa dia mety hisy fiantraikany lehibe amin'ny fahombiazan'ny dingana sy ny vokatra.

Ireto avy ireo olana mahazatra amin'ny tsy fahombiazana:

1. Tsy fitoviana ny fikorianan'ny entona

Ny lavaka entona voasakana na voakiky dia mety hiteraka fizarazarana tsy mitovy amin'ny entona, ka miteraka:

● fiovaovan'ny hatevin'ny sarimihetsika

● fandokoana tsy mitovy

● fitondran-tenan'ny plasma tsy marin-toerana

2. Fitomboan'ny famokarana poti-javatra

Ny fihotsahan'ny tany na ny fahasimban'ny sosona dia mety hampiditra poti-javatra ao amin'ny efitrano, ka hampitombo ny mety hisian'ny fahalotoana sy ny fatiantoka vokatra.

3. Tsy fahamarinan'ny plasma

Ny velaran'ny GDP simba dia mety hanova ny toetran'ny plasma, izay misy fiantraikany amin'ny:

● tsy fiovaovan'ny fametrahana

● famerimberenana ny fanjairana

● fahamarinan'ny fizotran'ny efitrano

● Fihenan'ny vokatra azo avy amin'ny dingana

Ao amin'ny famokarana semiconductor mandroso, na dia kely fotsiny aza ny fihenan'ny harin-karena faobe (GDP) dia mety hiteraka lesoka amin'ny ambaratongan'ny wafer sy fihenan'ny fahombiazan'ny famokarana. Noho izany antony izany, ny fanaraha-maso tsy tapaka, ny fikojakojana ary ny fanoloana ny singa GDP dia tena ilaina amin'ny asa famokarana semiconductor maharitra.

Ny Takelaka Fizarana Gaz AMAT 0020-31624 dia singa tena ilaina amin'ny efitrano semiconductor izay miantoka ny fizarana entona marina sy ny fitoviana plasma, manohana mivantana ny fametrahana maharitra, ny fahombiazan'ny etching, ary ny famokarana semiconductor avo lenta.

Nahoana no misafidy Semixlab?

Ao amin'ny Semixlab, manam-pahaizana manokana amin'ny singa semiconductor mandroso izahay izay natao ho an'ny fampiharana amin'ny mari-pana avo, fampiasana plasma betsaka, ary mora voaloto.

Manome:

● Kojakoja fanoloana semiconductor tena tsara

● Vahaolana amin'ny famokarana GDP manokana

● Fanohanana ara-teknika ara-nofo mandroso

● Singa fanodinana semiconductor madio avo lenta

ho an'ny orinasa mpamokatra semiconductor, OEM, ary tontolo iainana fampandrosoana dingana mandroso manerantany.

Mifandraisa amin'ny Semixlab anio mba hijerena vahaolana azo antoka momba ny singa semiconductor ho an'ny filànao.

Fampiharana mahazatra amin'ny fanamboarana semiconductor

Ny takelaka fizarana entona dia ampiasaina betsaka amin'ny fizotran'ny semiconductor nohatsaraina tamin'ny plasma izay tena ilaina ny fanaterana entona mazava tsara sy ny fizarana mitovy amin'ny plasma.

1. PECVD (Fametrahana Etona Simika Nohamafisina tao amin'ny Plasma)

Mitana anjara toerana lehibe ny GDP amin'ny:

● Fametrahana SiNx

● Fametrahana SiO₂

● fiforonan'ny sosona passivation

● fanodinana sarimihetsika manify dielektrika

2. Plasma Etching

Ao amin'ny rafitra fandokoana semiconductor, ny GDP dia manampy amin'ny fanamafisana ny plasma sy ny fanodinana ny fikorianan'ny entona ho an'ny:

● fandokoana dielektrika

● fandokoana oksida

● fandokoana mpitarika

● fomba fanadiovana efitrano

3. Dingana CVD / ALD mandroso

Ao amin'ny rafitra fametrahana sasany, ny takelaka fizarana entona dia ampiasaina ihany koa hanohanana:

● fisarahana mialoha

● fanaraha-maso ny entona mitempo

● fanodinana sarimihetsika manify tsy dia misy poti-javatra