LED Epitaxy Susceptor

Semixlab SiC Coated Graphite Susceptor ho an'ny LED Epitaxy dia manasongadina fototra grafit avo lenta ho an'ny fahamarinan-toerana mafana ary ny coating CVD SiC matevina (Ra ≤0.2 μm) ho an'ny fanoherana ny harafesina. Ity rafitra ity dia miantoka ny famindrana hafanana mitovitovy, ny tsy fahampian'ny simika, ary ny fahatokisana maharitra amin'ny LED MOCVD epitaxy.

Ao anatin'ny fizotry ny epitaxy LED, ny susceptor graphite mifono SiC dia tsy vitan'ny hoe mpihazona wafer mekanika fotsiny, fa ho singa fototra mifehy ny hafanana sy simika amin'ny rafitra MOCVD. Izy io no tompon'andraikitra amin'ny fandikana ny angovo mafana miditra avy amin'ny RF na maody fanafanana fanoherana ho any amin'ny sehatry ny mari-pana miparitaka tsara sy miorina amin'ny toerana maro. Ny fampitandremana mafana avo lenta amin'ny susceptor sy ny mombamomba ny emissivity nohatsaraina dia miantoka ny fitovian'ny mari-pana wafer-to-wafer sy intra-wafer - fepetra tena ilaina amin'ny fanaraha-maso hentitra ny hatevin'ny sarimihetsika GaN sy AlGaInP, ny fifantohana dopant ary ny kalitao kristaly.

Mandritra izany fotoana izany, ny coating SiC dia manome sakana simika matanjaka izay miaro ny grafita fototra amin'ny fampihenana ny hidrôzenina, ny korosi amoniaka ary ny fanehoan-kevitra mialoha ny metal-organika. Ity fiarovana ity dia tsy vitan'ny hoe manitatra ny fiainan'ny susceptor fa manakana ny famotsorana ireo karazana karbônina izay mety handoto ny sosona epitaxial mitombo na manimba ny fahombiazan'ny hazavana amin'ny chip LED vita. Ny vokatr'izany dia tontolo iainana fanehoan-kevitra madio kokoa, mihena ny faharetan'ny fikojakojana, ary manatsara ny fahamarinan-toerana maharitra.

Ankoatr'izay, ny fahitsiana sy ny fitovian'ny geometrika an'ny susceptor dia manana anjara toerana lehibe amin'ny fitazonana ny fikorianan'ny entona tsy miovaova sy ny fizarana mialoha ao amin'ny efitrano MOCVD. Na ny fivilian-tsivana kely amin'ny planarity na ny firafitry ny coating dia mety hitarika amin'ny fiovaovan'ny sosona sisintany sy ny tsy fitovian'ny hatevin'ny sarimihetsika eo an-toerana. Amin'ny alàlan'ny fampiasana ny teknolojian'ny coating an'ny Semixlab sy ny teknôlôjia vita amin'ny ety ivelany, ny susceptor tsirairay dia mahazo fisaka sy symmetry miavaka, miantoka ny dinamika entona fanamiana, ny kinetika fanehoan-kevitra tsara indrindra ary ny toetran'ny sarimihetsika epitaxial azo averina.

Raha ny tena izy, ny Semixlab SiC Coated Graphite Susceptor dia miasa amin'ny maha-stabilizer mafana sy fiarovana amin'ny loto, misy fiantraikany mivantana amin'ny vokatra LED sy ny kalitaon'ny fitaovana. Ny famolavolana ara-drafitra mandroso sy ny teknolojia coating dia manome hery ny mpanamboatra semiconductor mba hahazoana vokatra avo kokoa, fanatsarana ny fizotran'ny famokarana ary hampihena ny vidin'ny fananana amin'ny tsipika famokarana MOCVD maoderina.