Fantsona voarakotra TaC ho an'ny fitomboan'ny kristaly tokana SiC

Ny fantsona voarakotra TaC ho an'ny fitomboan'ny kristaly tokana SiC dia singa ara-drafitra tena ilaina amin'ny mari-pana avo lenta izay natao manokana ho an'ny rafitra fitomboan'ny kristaly tokana SiC mandroso, indrindra fa ireo mifototra amin'ny fomba Physical Vapor Transport (PVT). Ao amin'ny Semixlab, dia nanamboatra ity vokatra ity izahay mba hamenoana ny fepetra takian'ny tontolo iainana amin'ny fitomboan'ny kristaly SiC maoderina, izay ny fahamarinan'ny hafanana, ny tsy fahatomombanan'ny simika, ary ny fanaraha-maso ny fahalotoana dia mamaritra mivantana ny kalitaon'ny kristaly, ny tsy fitoviana amin'ny vokatra, ary ny faharetan'ny fitaovana.

Mandritra ny fitomboan'ny SiC PVT, ny tontolo anatiny dia ahitana mari-pana avo dia avo (mihoatra ny 2300 °C) ary dingana etona mihetsika manankarena silikônina. Amin'ireny toe-javatra ireny, ireo singa grafita mahazatra dia mora voan'ny harafesina simika, fihetsika katsentsitra, ary famoahana loto — izay samy manimba ny fahamarinan'ny fitaterana etona ary manimba ny fahadiovan'ny kristaly. Ny fantsona voarakotra TaC dia miasa ho toy ny fifandraisana miaro sy miasa ao amin'ny faritra misy mari-pana avo, mamorona lalana fitaterana etona tsy mihetsika ara-simika sy marin-toerana eo anelanelan'ny akora fototra sy ny kristaly voa.

Amin'ny alalan'ny fandrakofana ny substrate grafita amin'ny tantalum carbide (TaC) madio avo lenta, dia manasaraka tsara ny substrate grafita amin'ny etona misy silikônina sy karbônina manimba ny coating. Ny fahamarinan'ny thermochemical miavaka an'ny TaC sy ny tsindry etona ambany dia ambany amin'ny mari-pana fitomboan'ny SiC dia manakana be dia be ny fahasimban'ny fitaovana sy ny fiforonan'ny poti-javatra. Izany dia mandray anjara mivantana amin'ny tontolo fitomboana madio kokoa, mampihena ny mety hisian'ny fidirana tsy nahy ny loto sy ny lesoka kristaly toy ny microtubes na rafitra polymorphic tsy mahazatra.

Raha jerena amin'ny fomba fijery fanaraha-maso ny dingana, ny fantsona voarakotra TaC dia mitana anjara toerana lehibe amin'ny fitazonana ny fepetra fitaterana etona marin-toerana sy azo averina. Ny velarany anatiny malefaka sy mahatohitra harafesina dia mampihena ny fametrahana katsentsitra sy ny fikorontanan'ny jeometrika mandritra ny tsingerin'ny fitomboana, manampy amin'ny fitazonana ny fikorianan'ny entona tsy miovaova sy ny fifandanjan'ny saha mafana. Io fahamarinan-toerana io dia tena ilaina indrindra amin'ny fambolena ingots SiC lehibe savaivony, izay na dia ny fiovaovan'ny tontolo fitomboana kely aza dia mety hiteraka fatiantoka vokatra na fiovaovan'ny wafer-to-wafer.

Ireo fantsona voarakotra TaC an'ny Semixlab dia mampiasa fandinihana lalina momba ny R&D ho an'ny fifikirana amin'ny coating, ny fitoviana amin'ny hateviny, ary ny fifanarahan'ny TaC sy ny grafita amin'ny fanitarana ny hafanana. Ireo anton-javatra ireo dia tena ilaina mba hahazoana antoka ny fahamarinan'ny coating mandritra ny fotoana maharitra rehefa miverimberina ny tsingerin'ny hafanana, ka manitatra ny androm-piainan'ny singa ary mampihena ny fotoana tsy fiasan'ny lafaoro tsy voaomana. Raha ampitahaina amin'ny fantsona tsy voarakotra na ireo misy coating carbide hafa, ny vahaolana coating TaC dia manome fanoherana tsara kokoa amin'ny harafesina silikônina ary mampihena be ny mety hisian'ny delamination coating mandritra ny fampiasana maharitra amin'ny mari-pana avo.

Rehefa mandroso mankany amin'ny haben'ny wafer lehibe kokoa, famaritana lesoka henjana kokoa, ary vokatra ambony kokoa ny indostrian'ny SiC, dia lasa anton-javatra manan-danja izay misy fiantraikany amin'ny fifaninanana amin'ny famokarana ny fahatokisan'ny singa ao amin'ny faritra mafana. Ny fantsona voarakotra TaC ho an'ny fitomboan'ny kristaly tokana SiC dia maneho vahaolana fanavaozana ara-nofo izay manatsara ny fahamarinan'ny dingana, manatsara ny kalitaon'ny kristaly, ary mamela ny fampiasana maharitra azo vinavinaina kokoa. Ao amin'ny Semixlab, dia mametraka ity vokatra ity ho singa ahafahana manome fahafahana fa tsy ho laniana fotsiny, manome hery ireo mpanamboatra fitomboan'ny kristaly mba hahatratrarana ny fitomboan'ny kristaly tokana SiC azo ovaina, azo averina ary madio avo lenta. Manantena amim-pahatsorana ny Semixlab fa ho lasa mpiara-miasa maharitra aminao any Shina.