Peratra aloka Quartz 200mm

Ny Peratra Ampinga Quartz AMAT 0200-10445 (200 mm) dia singa fanaraha-maso ny sisin'ny quartz madio avo lenta natao manokana ho an'ny rafitra fandokoana plasma. Tafiditra ao anatin'ny sokajy peratra ampinga izy io, izay tena ilaina amin'ny fanaraha-maso ny fifandraisan'ny plasma eo amin'ny sisin'ny wafer mandritra ny fanodinana semiconductor.

Vita avy amin'ny quartz mifangaro madio avo lenta, ity singa ity dia natao hiasa amin'ny toe-javatra sarotra, anisan'izany:

● Tontolo iainana plasma mahery vaika

● Akora simika misy fluorine sy klôro mihetsika

● Tsingerin'ny hafanana miverimberina

Tsy tahaka ireo singa fiarovana mahazatra, ny peratra aloka dia ampahany tena ilaina amin'ny fizotran'ny asa izay misy fiantraikany mivantana amin'ny mombamomba ny etch, ny fitoviana ary ny fanaraha-maso ny refy mitsikera (CD).

Ao amin'ny Semixlab Technology, ny peratra aloka quartz anay dia amboarina amin'ny alàlan'ireto dingana manaraka ireto:

● Fifantenana akora manta hentitra mba hahazoana antoka fa tsy dia misy loto loatra

● Fikojakojana avo lenta mba hahazoana antoka fa mitovy ny endrika ara-jeometrika

● Fikarakarana ny ety ambonin'ny tany nohatsaraina mba hampihenana ny famokarana poti-javatra

Izany dia miantoka fahombiazana maharitra sy azo averimberina amin'ny dingana fanodinana mandroso.

Fomba fanao mahazatra

Amin'ny maha-singa azo hanina izay tratran'ny tontolo plasma henjana azy, ny peratra aloky ny quartz dia iharan'ireto fomba faharavana manaraka ireto:

1. Fahasimban'ny ranoka vokatry ny plasma

● Ny fipoahan'ny iôna mitohy dia miteraka fahasimban'ny velarana

● Manova ny endrika tena ilaina ny fahaverezan'ny fitaovana tsikelikely

Impact:

Fiharatsiana ny fahombiazan'ny fanaraha-maso ny sisiny, ka miteraka fivilian-dalana amin'ny refy mitsikera (CD) sy tsy fahamarinan-toerana amin'ny profil.

2. Fametrahana Polimera sy Vokatra Azo Avy Amin'izany

● Miangona eo amin'ny velaran'ny quartz ny vokatra azo avy amin'ny fanodinana

● Mety hiendaka ny loto mandritra ny fampiasana azy

Impact:

Fitomboan'ny fahalotoan'ny poti-javatra sy ny hakitroky ny lesoka amin'ny wafers.

3. Fiparitahan'ny tsindry mafana

● Ny tsingerin'ny fanafanana sy fampangatsiahana miverimberina dia miteraka fihenjanana anatiny

● Mety hiparitaka ny triatra madinika, ka hiteraka fahasimbana ara-drafitra

Impact:

Fahasimbana tsy nampoizina sy fahatapahan'ny fitaovana.

4. Fiforonan'ny poti-javatra noho ny fahanteran'ny fitaovana

● Ny fiparitahan'ny plasma mandritra ny fotoana maharitra dia manimba ny fahamarinan'ny quartz

● Mamoaka poti-javatra ao anaty efitrano ireo triatra madinika

Impact:

Nihena ny vokatra ary nihena ny fahatokisana ny fitaovana.

Nahoana no misafidy Semixlab?

Manana fahaizana lalina amin'ny fitaovana semiconductor sy ny singa fanodinana, ny Semixlab Technology dia manolotra piesy fanoloana avo lenta izay mahafeno na mihoatra ny fenitry ny OEM:

● Quartz madio avo lenta ho an'ny dingana mora voaloto

● Jeometrika namboarina tsara mba hifehezana ny sisiny marina

● Faharetan'ny fampiasana maharitra sy fihenan'ny vidin'ny fananana (CoO)

● Endrika mifanaraka amin'ny OEM izay mifandray tsara amin'ny sehatra AMAT

Atokisan'ireo orinasa mpamokatra semiconductor ny peratra aloka quartz anay, manohana ireo mpanamboatra mitady safidy azo itokisana, mahomby ary avo lenta ho an'ny fampiharana fanesorana plasma.

Toerana sy ny asan'ny fitaovana

Fametrahana toerana

Matetika apetraka ny peratra aloka Quartz:

● Manodidina ny faritra sisin'ny wafer

● Ambonin'ny na akaikin'ny "electrostatic chuck" (ESC)

● Ao anatin'ny faritra fonony plasma ao amin'ny efitrano fandoroana

Miara-miasa amin'ny singa hafa amin'ny sisiny izy io (toy ny peratra fifantohana sy ny peratra fonony) mba hamorona rafitra fanaraha-maso ny sisiny feno.

Function Fototra

1. Fiarovana ny plasma sy ny fanaraha-maso ny fizarana ion

Ny asa voalohany amin'ny peratra ampinga dia ny mamorona "vokatry ny fiarovana":

● Manakana na manova ny fiparitahan'ny plasma eo amin'ny sisin'ny wafer amin'ny fomba voafantina

● Fanitsiana ny zoro fidiran'ny ion sy ny fizarana ion

Results:

Fanaraha-maso ny mombamomba ny fandokoana nohatsaraina, anisan'izany ny zoro amin'ny rindrina ilany sy ny fahamarinan'ny endri-javatra.

2. Fanatsarana ny fitoviana eo amin'ny sisiny

Amin'ny alalan'ny jeometrika namboarina tsara (haavo, elanelana ary mombamomba azy), ny peratra aloka dia afaka:

● Ahena ny fikikisana tafahoatra amin'ny sisiny sy ny fiantraikan'ny enta-mavesatra kely

● Manatsara ny fitoviana amin'ny tahan'ny fandotoana manerana ny wafer

Impact:

Manatsara ny tsy fiovaovan'ny refy mitsikera (CD) ary mampitombo ny vokatra azo avy amin'ny sisin'ny wafer.

3. Fahamarinan'ny dingana sy ny fahafaha-miverimberina

Ity singa ity dia manamafy orina ny fihetsiky ny plasma eo amin'ny faritra sisiny amin'ny alàlan'ny:

● Fihazonana ny fepetra tsy miovaova amin'ny fonony plasma

● Ahena ny fiovaovan'ny fizotran'ny asa mandritra ny famokarana maharitra

soa:

Manatsara ny fahamarinan-toerana sy ny fahafahana famerimberenana ny fizotran'ny asa amin'ny famokarana betsaka.

4. Fandotoana sy fanaraha-maso ny vokatra azo avy amin'izany

Ny peratra aloka koa dia manampy amin'ny:

● Ahena ny toerana fametrahana tsy ilaina

● Mifehy ny fizarana ny pôlimera sy ny vokatra azo avy amin'izany

Mampihena ny mety hisian'ny poti-javatra izany ary mandray anjara amin'ny fiasan'ny efitrano madio kokoa.