Quartz Ring 150mm

Amin'ny maha-singa miharan'ny plasma azy, ny peratra quartz dia natao hiasa amin'ny tontolo iainana mampiasa angovo be sady mitazona ny fahamarinan-toerana ara-drafitra sy ny tsy fiovaovan'ny fizotrany.

Fampahafantarana vokatra fototra

Fitaovana sy tombony

Ny AMAT Quartz Ring 150mm dia vita amin'ny quartz fused grade semiconductor (SiO₂), fitaovana iray malaza be noho ny fahombiazany tsara amin'ny tontolo fanodinana plasma.

Tombony lehibe amin'ny Quartz mivaingana:

Fandotoana ambany dia ambany

Ny quartz madio avo lenta dia misy loto metaly ambany dia ambany, izay mampihena ny mety hisian'ny fahalotoan'ny wafer ary manohana ny fenitra avo lenta amin'ny famokarana semiconductor.

Fanoherana tsara ny plasma

Matanjaka amin'ny fandarohana baomba ion sy ny fihotsahan'ny plasma ny quartz, ka mahatonga azy io ho mety amin'ny fampiasana maharitra amin'ny sputter etch sy amin'ny efitrano plasma.

Filaminan'ny hafanana ambony

Mitazona ny maha-ara-drafitra azy ity fitaovana ity na dia eo aza ny mari-pana avo sy ny tsingerin'ny hafanana haingana, ka miantoka ny fahombiazana tsy tapaka mandritra ny fanodinana.

Fanamafisana ny herinaratra

Amin'ny maha-akora tsy mitarika herinaratra azy, ny quartz dia manampy amin'ny fanamafisana ny saha elektrika ao anatin'ilay efitrano, ka mandray anjara amin'ny fizarana mitovy ny plasma.

Ny tsy fahampian-tsakafo simika

Mahatohitra entona mihetsika ampiasaina amin'ny fizotran'ny semiconductor ny quartz, ka mampihena ny fahasimbana ary manalava ny androm-piainan'ny singa.

Ireo toetra ireo dia mahatonga ny quartz mivaingana ho fitaovana tsara indrindra ho an'ny singa ao amin'ny efitrano izay tratran'ny plasma sy ny mari-pana avo.

Asa ao anatin'ny fitaovana Semiconductor

Ny AMAT Quartz Ring 150mm dia manatanteraka asa manan-danja maromaro ao anatin'ny efitrano fanodinana plasma, izay misy fiantraikany mivantana amin'ny fahamarinan'ny dingana sy ny kalitaon'ny wafer.

1. Fitanana sy fanaraha-maso ny plasma

Ny peratra quartz dia manampy amin'ny famaritana ny faritry ny sisin-tanin'ny plasma, mifehy ny fizarana ion ary mampiorina ny fihetsiky ny plasma ao anatin'ny efitrano. Izany dia mandray anjara amin'ny fepetra azo averina sy tsy miovaova.

2. Fanatsarana ny fitoviana eo amin'ny sisiny

Rehefa apetraka eo akaikin'ny sisin'ny wafer ny peratra, dia mitana anjara toerana lehibe amin'ny:

● Mandrindra ny hakitroky ny plasma eo amin'ny sisin'ny wafer

● Fampihenana ny vokatry ny sisiny

● Fanatsarana ny fitoviana eo amin'ny fandokoana na ny fametrahana

Tena ilaina izany mba hifehezana ny refy mitsikera (CD) sy ny vokatra wafer amin'ny ankapobeny.

3. Fiarovana ny efitrano

Amin'ny maha-singa sorona azy, ny peratra quartz dia mandray:

● Akora miparitaka

● Vokatra azo avy amin'ny fandavahana

● Fiparitahan'ny plasma

Izany dia manampy amin'ny fiarovana ireo singa manan-danja ao amin'ny efi-trano fiasana toy ny rindrina metaly, ny fonony ary ny fitaovana elektrika statika amin'ny fahasimbana sy ny loto.

4. Fanatsarana ny fahamarinan'ny dingana

Amin'ny fitazonana ny jeometrika sy ny toetran'ny fitaovana tsy miovaova, ny peratra quartz dia manohana:

● Fizotran'ny fikorianan'ny entona tsy miovaova

● Fifandraisan'ny plasma voafehy

● Fihenan'ny famokarana poti-javatra

Izany dia mitarika ho amin'ny famerimberenana tsara kokoa ny dingana ary mampihena ny fotoana tsy fiasana.