0200-10246 GDP Quartz (takelaka fizarana entona)

Ny AMAT 0200-10246 Quartz GDP (Gas Distribution Plate) dia singa quartz mivaingana avo lenta natao hanomezana fizarana entona mitovy sy fifandraisana plasma voafehy ao amin'ny fitaovana fanodinana semiconductor. Matetika izy io no amboarina ho toy ny liner Uni-Insert misy lamina 88-lavaka, miasa ho toy ny fifandraisana manan-danja eo amin'ny rafitra fanaterana entona fanodinana sy ny faritra fiasan'ny plasma.

Namboarina ho an'ny fampiharana plasma etch sy CVD mandroso, ity singa ity dia miasa amin'ny toe-javatra tafahoatra, anisan'izany:

● Fiparitahan'ny plasma mahery vaika

● Gazy mihetsika (ohatra, simika mifototra amin'ny fluorine sy klôro)

● Tontolo iainana misy tsingerin'ny hafanana avo lenta

● Fepetra takiana henjana momba ny fitoviana amin'ny fizotran'ny asa

Tsy tahaka ny ampahany fiarovana amin'ny efi-trano tsy mihetsika, ny Quartz GDP dia singa tena ilaina amin'ny fizotran'ny asa izay misy fiantraikany mivantana amin'ny fitoviana amin'ny fikorianan'ny entona, ny fizarana ny hakitroky ny plasma, ary ny fanaraha-maso ny refy mitsikera (CD).

Ao amin'ny Semixlab Technology, ny takelaka Quartz GDP dia amboarina amin'ny fampiasana quartz mifangaro madio avo lenta, miaraka amin'ny fanodinana lavaka mazava tsara sy fanaraha-maso hentitra ny kalitao, mba hahazoana antoka fa azo averina sy tsy tapaka ny fahombiazana amin'ny dingana semiconductor sarotra.

Toerana amin'ny fitaovana sy andraikitra ara-asa

Fametrahana toerana

Ny Quartz GDP dia matetika apetraka:

● Eo amin'ny toerana ambony indrindra amin'ny efitrano fanodinana

● Ao anatin'ny na eo ambanin'ny rafitra misy ny lohan'ny fandroana

● Eo ambonin'ny velaran'ny wafer mivantana, miatrika ny faritra plasma

Izy io no fifandraisana voalohany amin'ny fampidirana entona ao amin'ny faritra plasma.

Function Fototra

1. Fizarana mitovy amin'ny entona (Asa fototra)

● Ny lamina marina misy lavaka 88 dia miantoka:

● Fizarana mitovy amin'ny entona fanodinana manerana ny wafer

● Fikorianan'ny entona sy ny lalana voafehy

Vokatra: Fitomboan'ny fitoviana eo amin'ny plasma sy ny tahan'ny etch/deposition tsy miovaova manerana ny wafer.

2. Fiforonan'ny plasma sy ny fanaraha-maso ny fahamarinan-toerana

Amin'ny alàlan'ny fanaraha-maso ny fomba fidiran'ny entona ao amin'ny faritra plasma, ny harin-karena faobe (GDP) dia:

● Misy fiantraikany amin'ny fandoroana sy ny fitazonana ny plasma

● Mamolavola ny fizarana hakitroky ny plasma

Fiantraikany: Nihatsara ny fahamarinan'ny fizotran'ny asa ary nihena ny fiovaovana eo amin'ny wafers.

3. Fitovian'ny dingana sy ny fanaraha-maso ny CD

Ny jeometrika sy ny endriky ny lavaka dia misy fiantraikany mivantana amin'ny:

● Fizarana iôna sy radikala

● Kinetikan'ny fihetsika eo amin'ny velaran'ny wafer

Tombony: Endrika fanjairana nohatsaraina, fitoviana CD, ary fahafahana mamerina ny wafer-to-wafer.

4. Fiarovana ny efitrano sy ny fanaraha-maso ny fahalotoana

Amin'ny maha-lasitra quartz azy, ny harin-karena faobe (GDP) azy koa dia:

● Miaro ireo singa metaly ao amin'ny lohan'ny fandroana amin'ny fiparitahan'ny plasma

● Mampihena ny mety hisian'ny loto metaly

Fomba fanao mahazatra

Noho ny fiparitahany mivantana amin'ny plasma sy ireo entona mihetsika, ny Quartz GDP dia iharan'ny mekanisma maromaro izay mametra ny fahombiazany:

1. Fanentsinana lavaka (fametrahana vokatra azo avy amin'ny vokatra azo avy amin'izany)

● Miangona ao anaty lavaka ny pôlimera na ny vokatra azo avy amin'ny fihetsehana

● Fikorianan'ny entona mihena na tsy mitovy

Fiantraikany: Fahaverezan'ny fitoviana eo amin'ny fizarana entona sy ny tsy fahamarinan-toerana eo amin'ny fizotran'ny asa.

2. Fahasimban'ny ranoka vokatry ny plasma

● Mampitombo ny savaivon'ny lavaka ny famelezana iôna

● Manova ny fikorianan'ny rano ny fikikisana ny velarana

Fiantraikany: Fiovana eo amin'ny fizarana hakitroky ny plasma sy ny fiovaovan'ny CD.

3. Fiparitahana sy famokarana poti-javatra

● Miendaka tsikelikely ireo sarimihetsika napetraka

● Miditra ao amin'ny tontolo iainan'ny efitrano ny poti-javatra

Fiantraikany: Fitomboan'ny hakitroky ny lesoka sy ny fatiantoka amin'ny vokatra.

4. Fiparitahan'ny tsindry mafana

● Ny tsingerin'ny hafanana miverimberina dia miteraka triatra madinika

● Mihamihena ny fahamarinan'ny rafitra rehefa mandeha ny fotoana

Vokany: Fahasimban'ny singa iray sy fotoana tsy ampoizina hijanonana.

5. Fiovaovan'ny fikorianan'ny entona

● Manova ny endrika anatiny ny fikikisana maharitra

● Fiovana miandalana eo amin'ny fizaran'ny entona

Vokany: Fiovaovan'ny fizotran'ny aretina malina nefa tena ilaina, sarotra fantarina.

Nahoana no misafidy ny Teknolojia Semixlab?

Manana traikefa betsaka amin'ny fitaovana semiconductor sy ny fanamboarana quartz mazava tsara, ny Semixlab Technology dia manolotra vahaolana Quartz GDP avo lenta natao ho an'ny tontolo plasma mandroso:

● Quartz Madio Tena Avo: Miantoka ny tsy fahalotoana sy ny fifandraisana maharitra amin'ny plasma.

● Famokarana lavaka maro araka ny tokony ho izy: Haben'ny lavaka, elanelana ary jeometrika marina tsara mba hahafahana mizara tsara ny entona.

● Fanatsarana ny velarana: Mampihena ny famokarana poti-javatra ary manatsara ny fahadiovan'ny dingana.

● Fahombiazana maharitra kokoa: Fanoherana tsara kokoa ny fihotsahan'ny plasma sy ny tsindry mafana.

● Endrika mifanaraka amin'ny OEM: Fampidirana tsy misy tomika amin'ny rafitra sy ny fepetra momba ny fizotran'ny AMAT.

Ny AMAT 0200-10246 Quartz GDP dia ampiasaina betsaka amin'ny:

● Akora ampiasaina Rafitra fanindronana plasma 200mm

● Efitrano fanodinana CVD sy PECVD

● Dingana fanamboarana semiconductor mitovy lenta

Tena ilaina indrindra izany amin'ny fampiharana izay mitaky fanaraha-maso hentitra ny fizotran'ny asa, anisan'izany:

● Fanovana node mandroso

● Fanamboarana semiconductor herinaratra (SiC, IGBT)

● MEMS sy fanamboarana fitaovana manokana