Peratra famehezana grafita isostatika madio avo lenta

Ny Peratra Famehezana Grafita Isostatika Madio Avo avy amin'ny Semixlab dia vita amin'ny grafita voatsindry isostatika madio avo lenta, ireo peratra famehezana ireo dia manome fahombiazana famehezana maharitra sy tsy misy loto izay manohana mivantana ny fahatokisan'ny dingana, ny tsy fitoviana amin'ny vokatra, ary ny faharetan'ny fitaovana amin'ny dingana fanamboarana wafer mandroso.

Ao anatin'ny rafitra epitaxy, izay tena ilaina ny fanaraha-maso marina ny fikorianan'ny entona, ny fahamarinan'ny tsindry ary ny fitoviana ara-hafanana, ny Peratra Famehezana Grafita Isostatika Madio Avo lenta an'ny Semixlab dia mitana anjara toerana lehibe amin'ny fitazonana ny fahamarinan'ny reaktora amin'ny mari-pana maharitra izay matetika mihoatra ny 1000 °C. Napetraka eo amin'ny fifandraisan'ny efitrano, ny sisin'ny famehezana, ary ny tonon-taolana mihodina na tsy mihetsika ao anatin'ny faritra mafana, ireo peratra famehezana ireo dia mampiseho fanitarana ara-hafanana ambany sy isotropic, ahafahan'izy ireo mitazona ny fahamarinan'ny refy mandritra ny tsingerin'ny hafanana miverimberina. Ny votoatin'ny loto metaly ambany dia mampihena ny mety hisian'ny fampidirana dopant tsy nahy na ny fandotoana metaly, manampy amin'ny fiantohana ny hatevin'ny sosona epitaxial mitovy, ny mombamomba ny doping voafehy, ary ny fitomboan'ny kristaly avo lenta amin'ny dingana epitaxy silikônina sy semiconductor mitambatra.

Ao amin'ny fampiharana CVD, LPCVD, ary PECVD, ireo singa famehezana dia iharan'ny fitambaran'ny mari-pana avo, ny banga, ny entona mialoha ny fahasimbana, ary amin'ny tranga sasany dia tontolo plasma. Ny Peratra Famehezana Grafita Isostatika Madio Avo an'ny Semixlab dia ampiasaina betsaka amin'ny tombo-kase varavaran'ny efitrano, rafitra fanasarahana entona, ary faritra tetezamita eo anelanelan'ny faritra mafana sy mangatsiaka ao amin'ny reaktora. Ny fanoherana simika anatiny amin'ny grafita madio avo dia ahafahana miasa marin-toerana eo anatrehan'ny entona dingana mahery vaika toy ny HCl, NH₃, ary ireo mialoha ny fahasimbana mifototra amin'ny halogen, raha toa kosa ny rafitra mikrosotropika matevina sy isotropic dia mampihena ny famokarana poti-javatra sy ny fahasimbana mekanika mandritra ny androm-piainana maharitra. Raha ampitahaina amin'ny vahaolana famehezana metaly, ny peratra famehezana grafita dia manolotra fanoherana ambony kokoa amin'ny harafesina sy ny havizanana mafana, izay mandray anjara amin'ny elanelam-potoana fikojakojana lava kokoa sy ny famerenana ny dingana amin'ny famokarana be dia be.

Ny fiparitahan'ny hafanana avo, ny oksidasiona, ary ny fanodinana hafanana haingana dia mitaky fepetra henjana amin'ny fahombiazan'ny famehezana noho ny mari-pana tafahoatra, ny hafainganam-pandeha mafana haingana, ary ny tsingerin'ny dingana matetika. Amin'ireny tontolo iainana ireny, ny Peratra Famehezana Grafita Isostatika Madio Avo an'ny Semixlab dia mitazona ny fahamarinan'ny famehezana tsy tapaka amin'ny mari-pana mihoatra ny 1100 °C, manohana ny fanaraha-maso ny atmosfera marin-toerana ao anatin'ny fantsona lafaoro sy ny efitrano RTP. Ny toetra mekanika mitovy omen'ny fanerena isostatika dia manampy amin'ny fisorohana ny fifantohana eo an-toerana, ny triatra bitika, ary ny fikorontanan'ny tombo-kase mandritra ny fanafanana sy fampangatsiahana haingana, ka mandray anjara amin'ny mombamomba ny fiparitahan'ny dopant marin-toerana, ny fitomboan'ny oksida mitovy, ary ny vokatra azo averina amin'ny dingana mafana izay tena ilaina amin'ny fanamboarana fitaovana lojika sy fahatsiarovana mandroso.

Ao amin'ny dingana Etch, anisan'izany ny fampiharana dry etching izay mampiasa simia mifototra amin'ny halogen sy tontolo iainana misy plasma, dia ilaina ny peratra famehezana mba hihazonana ny tsy fivadihan'ny banga sady mametra ny famokarana poti-javatra sy ny fahasimban'ny simika. Ny Peratra Famehezana Grafita Isostatic Madio Avo lenta an'ny Semixlab dia matetika apetraka amin'ny faritra tsy tratran'ny plasma mivantana, toy ny fifandraisana famehezana manodidina ny efitrano sy ny faritra mitoka-monina ara-drafitra. Rehefa ampiarahina amin'ny fanamafisana ny velarana na ny coatings miaro, ireo peratra famehezana ireo dia manome fanoherana azo antoka amin'ny entona etch manimba sy ny adin-tsaina mafana, manohana ny fepetra marin-toerana ao amin'ny efitrano ary mampihena ny mety ho fatiantoka vokatry ny loto.

Namboarina tamin'ny fifantohana amin'ny fahadiovana ara-nofo, ny fahamarinan-toerana ara-drafitra, ary ny fahatokisana maharitra, ny fifanarahan'ny Peratra Famehezana Grafita Isostatika Madio Avo lenta amin'ny teknolojia coating mandroso sy ny fampidirana azy ireo amin'ny maritrano fitaovana semiconductor sarotra dia mahatonga azy ireo ho vahaolana azo itokisana ho an'ny node dingana mandroso sy matotra. Amin'ny alàlan'ny fanomezana fahombiazana famehezana tsy tapaka amin'ny fepetra dingana sarotra indrindra, ny Semixlab dia manohana ireo mpanamboatra semiconductor amin'ny fahazoana vokatra ambony kokoa, fampiasana fitaovana nohatsaraina, ary fandaniana amin'ny fananana ambany kokoa. Manantena amim-pahatsorana izahay ny ho mpiara-miasa aminao maharitra any Shina.