Peratra famehezana SSiC

Ao amin'ny Semixlab, ny Peratra Famehezana SSiC anay dia maneho vato fehizoro amin'ny teknolojia famehezana avo lenta novolavolaina ho an'ny fepetra henjana amin'ny fanamboarana semiconductor maoderina. Vita avy amin'ny karbida silikônina sintered matevina sy madio avo lenta, ireo singa famehezana ireo dia manome fahamarinan-toerana simika miavaka, faharetana mafana ary tanjaka mekanika amin'ny tontolo banga, mari-pana avo ary entona manimba izay tena sarotra indrindra. Miaraka amin'ny traikefa ara-teknika manankarena amin'ny fanodinana wafer front-end, dia mamolavola vahaolana famehezana SSiC izahay izay manatsara ny fahamarinan-toerana, manitatra ny androm-piainan'ny fitaovana ary miaro ny vokatra azo avy amin'ny fitaovana ao amin'ny nodes semiconductor mandroso.

Ao anatin'ny dingana epitaxy (Epi), izay iharan'ny atmosfera manankarena hidrôzenina, simika mahery vaika misy klôro, ary mari-pana mihoatra ny 1200°C ny wafers, ny SSiC Sealing Rings dia mitana anjara toerana lehibe amin'ny fitazonana ny fisarahana tsy miditra rivotra eo amin'ny habaka misy ny efitrano mihetsika sy ny fivorian'ny mekanika manodidina. Ny porosity ambany dia ambany sy ny fanoherana ny harafesina tsy manan-tsahala dia miantoka ny fahamarinan'ny entona maharitra ao anatin'ny reactor, misoroka ny fivoahan'ny rano, ny loto ary ny fihetsiky ny katsentsitra izay mety hanimba ny fitoviana amin'ny sarimihetsika na ny fahamarinan'ny dopant. Ao amin'ny rafitra susceptor mihodina, ny fanoherana ny fikikisana ambony sy ny fahamarinan'ny refy an'ny SSiC dia ahafahana miasa milamina sy tsy misy poti-javatra amin'ny alàlan'ny tsingerin'ny hafanana mitohy, manohana ny famokarana sosona epitaxial Si, SiGe, SiC, ary GaN avo lenta.

Ao amin'ny sehatra ALD, CVD, PECVD, ary LPCVD, ny Peratra Famehezana SSiC dia miasa ho tombo-kase voalohany amin'ny efitrano, peratra fanokana-monina, ary singa ara-drafitra tratran'ny plasma izay tsy maintsy mahatanty ireo singa fototra mifototra amin'ny halogen, ny fihotsahan'ny plasma, ary ny tsingerin'ny paompy miverimberina. Ny fahafahany mijanona ho tsy mihetsika ara-simika eo anatrehan'ny TEOS, TMA, chlorosilanes, karazana fluorine, ary vokatra azo avy amin'ny fametrahana dia mahatonga azy ireo ho safidy tsara kokoa noho ny metaly voarakotra na tombo-kase vita amin'ny polymer. Ny rafitra kristaly matevina amin'ny SSiC an'ny Semixlab dia manafoana ny fivoahan'ny entona sy ny famokarana poti-javatra, manohana ny famerimberenana avo lenta sy ny tontolo iainana ambany lesoka ilaina amin'ny fametrahana sarimihetsika manify mandroso. Amin'ny alàlan'ny fitazonana ny famehezana marina sy ny fahamarinan-toerana mekanika, ireo peratra ireo dia manamafy orina ny tsindrin'ny efitrano, ny fizarana mari-pana, ary ny mombamomba ny fikorianan'ny singa fototra — singa ilaina amin'ny fampisehoana sarimihetsika dielectric, sakana, ary epitaxial tsy tapaka.

Ao anatin'ny tontolo iainana diffusion, fanafanana amin'ny mari-pana avo, ary fanodinana mafana haingana, ny Peratra Famehezana SSiC dia manome tombo-kase azo antoka eo amin'ny faritra mafana sy ny fifandraisana mekanika manodidina ny rafitra lafaoro. Ny coefficient fanitarana mafana ambany dia ambany, miaraka amin'ny hamafin'ny vaky avo sy ny fanoherana ny oksidasiona tsara dia tsara, dia ahafahan'izy ireo miaro ny tsy fivadihan'ny entona sy ny fahamarinan-toerana mekanika na dia mihoatra ny 1400°C aza. Izany dia miantoka ny fiasan'ny dopant mitovy, ny atmosfera lafaoro marin-toerana, ary ny fitoviana eo amin'ny wafer sy wafer, mampihena ny fampidirana loto ary mampihena ny fivezivezena amin'ny masontsivana dingana. Ho an'ny lafaoro fantsona sy ny efitrano RTP/RTA, ny faharetan'ny SSiC eo ambanin'ny fiakaran'ny mari-pana haingana dia miantoka ny androm-piainana maharitra, ny fahatapahan'ny fikojakojana vitsy kokoa, ary ny fahadiovan'ny dingana voaaro.

Amin'ny alalan'ny fizahana mikrostruktura avo lenta, fanombanana ny fanoherana ny plasma-etch, fanaraha-maso ny refy marina, ary famakafakana ny loto, dia voamarina araka ny fenitra indostrialy manerantany ny peratra famehezana tsirairay. Ireo singa vokarina dia mampiseho loto ionika ambany dia ambany, permeability akaiky ny aotra, ary fahamarinan-toerana maharitra, ahafahan'ny mpanamboatra orinasa sy fitaovana mahazo fotoana fiasana ambony kokoa, tsingerin'ny PM lava kokoa, ary fitoviana tsara amin'ny fizotran'ny famokarana. Semixlab no mpiara-miasa maharitra azo itokisana foana amin'ny sehatry ny semiconductor sintered silicon carbide (SSiC).