EN 
EN
DA
NL
FI
FR
DE
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
ID
SK
UK
VI
TH
TR
FA
BE
LA
UZ
Wafer Piezoelektrika PZT
Miaraka amin'ny fitomboan'ny fifandraisana 5G, ny fitsaboana amin'ny fomba mazava tsara, ary ireo fitaovana azo anaovana marani-tsaina, dia mitombo ny fangatahan'ny tsena ho an'ny transducers MEMS avo lenta sy ambany hery. Ny wafers piezoelectric anay (PZT amin'ny Si/SOI) dia mampiasa dingana fametrahana sarimihetsika manify mandroso mba hahazoana fitoviana miavaka sy toetra piezoelectric ambony amin'ny substrates silicon, izay miasa ho toy ny fototra fototra ho an'ny fiovam-po angovo elektro-mekanika mahomby.
Description
Serivisy manokana
Ankoatra ny fanolorana wafer PZT 8-inch manara-penitra, dia manome fahafahana manamboatra azy ireo araka ny filàn'ny mpanjifanay manokana izahay:
● Fahasamihafan'ny substrate: Manohana ny fametrahana amin'ny wafer Si sy ny wafer SOI izahay (miaraka amin'ny resistivity > 5000 ohm/cm).
● Fanamboarana Sarimihetsika Manify: Azo amboarina ny karazana sy hatevin'ny sarimihetsika manify manokana mba hifanaraka amin'ny fepetra takiana amin'ny famolavolana.
● Habe azo ovaina: Manolotra fahafahana mikirakira ho an'ny endrika wafer 6-inch sy 8-inch izahay.
● Wafer avy amin'ny mpanjifa: Manaiky substrate avy amin'ny mpanjifa izahay ho an'ny fitomboan'ny sarimihetsika manify piezoelectric.
Ny mpiara-miasa ara-teknika aminao: Manao izay fara heriny izahay mba hanomezana fanohanana feno—manomboka amin'ny fampitomboana ny fitaovana ka hatramin'ny fanamboarana ny rafitra. Na eo amin'ny dingana fikarohana sy fampandrosoana ao amin'ny laboratoara ianao na amin'ny dingana famokarana faobe, dia vonona ny hanome vahaolana piezoelectric mifanaraka indrindra amin'ny filanao ny ekipanay ara-teknika.
fepetra arahana
Ny vokatra mahazatra anay dia amboarina amin'ny alàlan'ny dingana 6-inch sy 8-inch, izay ahitana endrika ara-drafitra misy sosona maro izay miantoka ny fahombiazana maharitra mandritra ny fizotran'ny fanamboarana MEMS sarotra.
Masontsivana momba ny firafitry ny sosona (8-inch mahazatra)
| Layer | hateviny | Fanamarihana |
| Top Electrode | namboarina | Elektroda Ambony |
| Sosona Piezo | namboarina | Sosona Piezoelektrika Fototra |
| Buffer Layer | namboarina | Sosona Fanaraha-maso ny Fironan'ny Voa |
| Electrode ambany | 100 nm ± 10% | Elektroda Ambany |
| Sosona fifikirana | namboarina | Sosona fifikirana |
| Substrate | namboarina | Misy safidy 4/6/8-inch |
Tondro Fahombiazana fototra (Toetoetra)
● Piezoelectric Constant (d31): 200 pC/N — Miantoka ny vokatra fifindrana mekanika mahomby.
● Koefisien'ny Piezoelektrika (e31): −15 C/m² — Manome valinteny elektrika tena saro-pady.
● Fitoviana Avo: Voamarina tamin'ny alalan'ny fanadihadiana difraksiona XRD, ny sarimihetsika PZT dia mampiseho fironana matanjaka (100), izay miantoka ny fitoviana miavaka amin'ny fampisehoana manerana ny wafer manontolo.
| Toetra mampiavaka ny PZT | Polycrystal PZT |
| Piezoelectric tsy miovaova d31 | 200 pC/N |
| koefisienan'ny piezoelektrika e31 | -14 C/m² |
| Temperature Curie | X ℃ |
Sary SEM sy XRD
Applications
Sehatra dimy lehibe ampiasaina
1. Mpandrindra Ultrasonika Piezoelektrika (pMUT)
Mampiasa ny piezoelectric constant avo lenta amin'ny sarimihetsika manify PZT mba hamoronana array ultrasonika kely sy avo lenta. Ampiasaina betsaka amin'ny famantarana ny dian-tanana eo ambanin'ny efijery, ny fahatsapana fihetsika, ary ny rafitra radar ultrasonika fiara.
2. Sivana sy Fifandraisana RF (RF MEMS)
Ao amin'ny rafitra fifandraisana 5G sy 6G, ny fitaovana piezoelectric avo lenta dia tena ilaina amin'ny famokarana sivana FBAR sy SAW, izay ahafahana mahazo bandwidth midadasika kokoa sy fatiantoka insertion ambany kokoa.
3. MEMS Akostika (Fanamafisam-peo/Mikrôfôna)
Manome hery ny fanamafisam-peo MEMS amin'ny alalan'ny valinteny mihelina sy ny Haavon'ny Tsindry Feo (SPL) ambony kokoa, sady mampitombo ny tahan'ny Signal-to-Noise (SNR) an'ny mikrôfôna MEMS mba ahafahana maka feo avo lenta.
4. Fanaraha-maso ny Ranoka Mazava Tsara (Lohan-pirinty Inkjet)
Mampiasa hovitrovitra haingam-pandeha amin'ny fomba d31 mba hahazoana fahamarinan'ny haavon'ny nanolitera amin'ny fanaraha-maso ny habetsaky ny ranomainty; miasa ho singa fototra amin'ny rafitra fanontana inkjet avo lenta sy avo lenta ho an'ny indostria.
5. Estetika ara-pitsaboana & Micro-pumping
Mampiasa "nebulizer" ara-pitsaboana sy paompy ultrasonika tsara tarehy. Mampiasa ny habeny kely sy ny fahatokisana avo lenta amin'ny sarimihetsika manify PZT izahay, ahafahanay manadio tsara sy manome fanafody ranoka amin'ny fomba mahomby.
