Semiconductor quartz wafer

Ny Semixlab Semiconductor Quartz Wafer dia substrate silika voapoizina voapoizina sy madio indrindra natao ho an'ny tontolo fanodinana semiconductor.

Ampiasaina betsaka izy io ho toy ny wafer dummy, wafer carrier, substrate optika, ary fototry ny photomask amin'ny oxidation thermal, CVD / LPCVD, PECVD, ary rafitra lithography.

Noforonina avy amin'ny SiO₂ 99.99% madiodio, ity wafer quartz ity dia manome fitoniana mafana, tsy fahampian'ny simika ary mangarahara optique, miantoka ny fiasana maharitra sy tsy misy loto amin'ny tsipika famokarana semiconductor mandroso.

Ⅰ. Toetra ara-pitaovana sy ambonin'ny tany

● Fitaovana: silica mitambatra na voajanahary (SiO₂ ≥ 99.99%).

● Safidy savaivony: 2", 4", 6", 8", 12" (misy habe mahazatra).

● Famaranana eny ambonin'ny tany: voapoizina amin'ny lafiny roa, fisaka ≤ 5 μm, hakitroky ny ambonin'ny ≤ 0.5 nm.

● Thermal Resistance: Maharitra hatramin'ny 1200 ° C mitohy miasa.

● Coefficient fanitarana mafana: 5.5 × 10⁻⁷ /°C.

● Fifindran'ny Optical: >90% manomboka amin'ny 190 nm ka hatramin'ny 2,600 nm.

Ny wafer tsirairay dia mandalo fanaraha-maso henjana, fanamarinana ny refy ary famakafakana ny fahadiovana mba hahazoana antoka fa mifanaraka tanteraka amin'ny fepetra takian'ny semiconductor.

Ⅱ. Asa fototra amin'ny fizotran'ny Semiconductor

1. Mpitatitra ny fizotran'ny CVD sy LPCVD Systems

Ny wafer quartz dia ampiasaina ho toy ny dummy na spacer wafe mba hanamafisana ny fikorianan'ny entona sy ny fitovian'ny mari-pana mandritra ny SiO₂, Si₃N₄, ary polysilicon thin-film deposition. Miantoka ny fitombon'ny horonan-tsarimihetsika sy ny famokarana potikely faran'izay kely indrindra mandritra ny tsingerin'ny déposition ny fahitsiana ny refy.

2. Fampiharana amin'ny lafaoro oxidation sy diffusion

Amin'ny fizotry ny oxidation amin'ny hafanana sy ny dopant diffusion, ny wafer quartz dia miasa ho toy ny ampinga mafana na mpanara-maso ny fizotran'ny dingana, mitazona ny fitsinjarana ny hafanana ary misoroka ny fandotoana ny wafers famokarana.

3. Fampiasana Optical sy Lithography

Noho ny fifindran'ny optika avo lenta sy ny fitovian'ny mari-pamantarana refractive, ny wafer quartz dia mety amin'ny fanamboarana photomask, substrate DUV, ary fitaovana fanodinana optika. Izy io dia miantoka ny fifindran'ny hazavana tsy miovaova ho an'ny rafitra lithography i-line, KrF, ary ArF.

4. Tontolon'ny Plasma sy Etching

Ao amin'ny rafitra CVD maina sy plasma, ny wafer quartz dia ampiasaina ho ampinga efi-trano na varavarankelin'ny plasma, manome hery dielectric tsara sy faharetana simika amin'ny gazy mifototra amin'ny halogen (CF₄, SF₆, Cl₂).

5. Metrology sy ny fitaovana calibration

Ny wafer quartz dia toy ny wafers fanondro ho an'ny hatevin'ny sarimihetsika, ny mari-pana ary ny calibration. Ny endrik'izy ireo tena malama sy tsy misy kilema dia manome valiny fandrefesana marina sy azo averina, miantoka ny fahamarinan'ny fanaraha-maso ny fizotrany.

Fanaovana fangatahana

● Wafer dummy ho an'ny rafitra CVD, LPCVD ary PECVD

● Fitondran-draharaha na ampinga mafana amin'ny lafaoro oxidation sy diffusion

● Sobika Photomask ho an'ny lithography UV/DUV

● Wafer fanondro ho an'ny calibration fitaovana sy metrology

● Varavarankelin'ny efitra Plasma sy mpiaro ny fizotran'ny etching

Ny Semixlab Semiconductor Quartz Wafer dia substrate avo lenta natao ho an'ny fizotry ny semiconductor mitaky indrindra. Ny fahamarinan-toerana mafana, ny fahitsiana optique, ary ny fahadiovan'ny simika dia mahatonga azy io ho ilaina amin'ny fampiharana deposition, oxidation, lithography ary metrology. Miaraka amin'ny fanohanana ara-teknika feno sy fanohanana ara-teknika, Semixlab dia manolotra vahaolana izay mampitombo ny tsy fitovian'ny dingana, ny fahatokisana ny vokatra ary ny fahombiazan'ny asa. Manantena amim-pahatsorana ny ho lasa mpiara-miombon'antoka maharitra ao Shina izahay.