Grafita misy porous madio avo lenta

Ny grafita misy lavaka madio avo lenta dia fitaovana tena ilaina amin'ny famokarana semiconductor mandroso, izay tena ilaina ny fahamarinany ara-hafanana miavaka, ny haavon'ny loto ambany dia ambany, ary ny tsy fiovaovan'ny fizotrany. Ny vahaolana grafita misy lavaka madio avo lenta an'ny Semixlab dia namboarina manokana ho an'ny fizotran'ny semiconductor amin'ny mari-pana avo lenta sy mora voaloto.

Ao anatin'ny dingana epitaxy, ny grafita porous madio avo lenta dia ampiasaina betsaka amin'ny singa fototra toy ny substrate holders, wafer carriers, rafitra fizarana entona, ary singa thermal field. Mandritra ny fitomboana epitaxial Si, SiC, ary GaN, ny fitoviana marina amin'ny mari-pana sy ny fikorianan'ny entona marin-toerana dia singa tena ilaina amin'ny fanaraha-maso ny hatevin'ny sarimihetsika, ny fitoviana amin'ny doping, ary ny fampihenana ny lesoka. Ny microstructure porous an'ny grafita Semixlab dia ahafahana mizara hafanana mitovy kokoa sy mifehy ny fiparitahan'ny entona manerana ny velaran'ny wafer, ka mampihena ny tsy fahamarinan'ny sosona sisintany sy ny fiantraikan'ny sisiny.

Mandritra ny fizotran'ny diffusion sy oxidation izay mitaky fandidiana maharitra mihoatra ny 1000 °C, ny grafita porous madio dia miasa ho fitaovana ara-drafitra sy fanohanana azo antoka ho an'ny sambo wafer, ny fonony ivelany, ary ny singa insulation mafana. Raha ampitahaina amin'ny grafita matevina, ny rafitra porous dia mampihena ny fihenjanana ara-pahasalamana sy ny fiovaovan'ny endrika mandritra ny tsingerin'ny hafanana miverimberina, mampitombo ny fahamarinan'ny refy ary manitatra ny androm-piainan'ny singa. Ny tsy fahatomombanan'ny simika ao anatiny sy ny votoatin'ny loto ambany dia manampy amin'ny fitazonana tontolo iainana madio, manohana ny fanaraha-maso hentitra ny mombamomba ny diffusion dopant sy ny kalitaon'ny sarimihetsika oksida sady mampihena ny mety hisian'ny famokarana poti-javatra sy ny fandotoana miampita.

Ho an'ny dingana CVD, LPCVD, ary PECVD, ny grafita porous avo lenta dia mitana anjara toerana lehibe amin'ny fanafanana, mpitatitra wafer, ary singa ao amin'ny efitrano anatiny izay tratran'ny entona mihetsika sy ny mari-pana avo. Ny conductivity mafana tsara an'ity fitaovana ity dia miantoka ny famindrana hafanana haingana sy mitovy, raha toa kosa ny rafitra porous dia ahafahana mifehy ny fandrika ny vokatra azo avy amin'ny fametrahana, mampihena ny fiparitahana sy ny famoahana poti-javatra mandritra ny fampiasana fitaovana maharitra. Izany dia mandray anjara mivantana amin'ny fahamarinan'ny dingana, ny elanelam-potoana fikojakojana maharitra, ary ny faharetan'ny fampiasana fitaovana.

Ny grafita porous avo lenta avy amin'ny Semixlab dia amboarina eo ambanin'ny rafitra fanaraha-maso kalitao henjana, miaraka amin'ny fitantanana amim-pitandremana ny fisafidianana akora manta, ny fanadiovana ary ny injeniera momba ny rafitra bitika. Rehefa ilaina ny faharetan'ny serivisy lava kokoa na ny fampiasana amin'ny tontolo simika sarotra kokoa, ity vokatra ity dia mifanaraka amin'ny coatings fiarovana mandroso toy ny SiC na TaC. Mampiasa ny fahaiza-manao miavaka amin'ny famolavolana, ny fahaiza-manao milina ary ny teknolojia coating semiconductor mandroso, ny vahaolana atolotray dia azo ampifanarahana tsara amin'ny fepetra takian'ny sehatra fitaovana semiconductor sy ny node process anao. Manantena mafy izahay fa ho lasa mpiara-miasa maharitra aminao any Shina.